该晶圆研发厂最靠近华南地区划分,通常研发84英寸半导体行业晶圆,平均工业废水排出口量约800吨。由研发时候中施用很大盐酸做晶圆蚀刻,造成的工业废自来水中氟化物浓硫酸浓度可高达200-300mg/L,远超国度排出口要求(10mg/L下例)。
生产废水化学物质及种类
废污水主要位于八个原则:
晶圆蚀刻步骤
:含高质量浓度氟化物(HF)、硝酸银及小量高价属
化学式机增加光泽(CMP)废污水
:含微米级硅颗粒物、无机络合剂
环保设备擦拭生活污水
:含异丙醇、高锰酸盐指数等无机物
整理加工过程步骤流程
适用"化学式沉定+水泥混凝土沉定+深层过滤器"三级职业资格证书治理 系统性:
6级治疗
:加药系统氯化钙和氢被氧化钙,形成了氟化钙积累,氟化物清除率达85%
中级加工
:填加PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚丙乙烯酰胺),彻底清除胶体溶液态感染物
一级工作
:顺利通过多材质滤出器和几丁质酶炭吸附物,溢水氟化物含量安全在8mg/L以內
关键性主设备以及:pH电脑自动调准操作系统、斜管沉垫池、板框隔膜压滤机(污水烘干)。
终结特效
产品运动五年期监测站信息显视:
氟化物年均质量浓度:7.2mg/L(小于的国家准则)
COD删去率:92%
污泥干化水分含量率:≤65%
年出售氟化钙副服务约150吨,体现资源量化借助