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电子半导体废水怎么处理|电子半导体废水如何处理

该晶圆研发厂最靠近华南地区划分,通常研发84英寸半导体行业晶圆,平均工业废水排出口量约800吨。由研发时候中施用很大盐酸做晶圆蚀刻,造成的工业废自来水中氟化物浓硫酸浓度可高达200-300mg/L,远超国度排出口要求(10mg/L下例)。 生产废水化学物质及种类 废污水主要位于八个原则: 晶圆蚀刻步骤 :含高质量浓度氟化物(HF)、硝酸银及小量高价属 化学式机增加光泽(CMP)废污水 :含微米级硅颗粒物、无机络合剂 环保设备擦拭生活污水 :含异丙醇、高锰酸盐指数等无机物 整理加工过程步骤流程 适用"化学式沉定+水泥混凝土沉定+深层过滤器"三级职业资格证书治理 系统性: 6级治疗 :加药系统氯化钙和氢被氧化钙,形成了氟化钙积累,氟化物清除率达85% 中级加工 :填加PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚丙乙烯酰胺),彻底清除胶体溶液态感染物 一级工作 :顺利通过多材质滤出器和几丁质酶炭吸附物,溢水氟化物含量安全在8mg/L以內 关键性主设备以及:pH电脑自动调准操作系统、斜管沉垫池、板框隔膜压滤机(污水烘干)。 终结特效 产品运动五年期监测站信息显视: 氟化物年均质量浓度:7.2mg/L(小于的国家准则) COD删去率:92% 污泥干化水分含量率:≤65% 年出售氟化钙副服务约150吨,体现资源量化借助

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