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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8英尺晶圆产出线整套搭配的超超纯水系统化,每周呈现含硅废污水150吨。废污海里虽无血本属,但硅含量的高易结渣,且电阻值率需达标18MΩ·cm方可化工业废水处里。和原有处里新工艺不可要求新颁行的《网上化工业水的废水尾气相关的排放标准规范标准规范》(GB39731-2020)独特尾气相关的排放标准规范规定值。 电镀废水组成特征 通常弄脏物 :橡胶胶体部分硅(200-300mg/L)、粒状硅(比表面积0.1-1μm) 个性化要 :TOC<10μg/L,硼量<5μg/L 水质检测性能特点 :低纯水电导率(<50μS/cm)但硅有机化合物行态错综复杂 除理工序流量 转型升级分为"梯级膜分割+电去铝离子"搭配工艺技术: 微滤预正确处理 :1μm陶瓷制品膜拦阻大颗料硅,通量保证80LMH 铝离子互相交换光敏树脂 :D201大孔树脂材料决定性吸附性硅酸大分子 中级RO模式 :第一次段收回率60%,其二段采用了高脱硼膜部件 EDI电去正离子 :功率体积2A/m²,不断剔除残存正离子 紫外光杀菌消毒 :254nm太阳光的太阳光线摄入量40mJ/cm² 技術亮点纷呈 制作专用箱阻硅剂(有机化学胺类分手后复合物),减轻膜感染阶段3倍 EDI包块科学创新流道设计的,硅洗去率不断提升至99.8% 在线播放硅研究仪(检测范畴0.1-500μg/L)体现精准度控住 启动取得的成绩 经第三个方论文检测: 总硅从280mg/L降到0.05mg/L 硼成分从8μg/L高于0.3μg/L 系統收售率从原40%上升至68% 膜换掉时间是廷长至5年,年运转成本低削减35%

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